دوره 31، شماره 1 - ( تیر 1391 )                   جلد 31 شماره 1 صفحات 51-56 | برگشت به فهرست نسخه ها


XML English Abstract Print


Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:

A. Bahari, M. Roodbari Shahmiri, N. Mirnia. Comparison of Nano Structural Properties of Al2O3 and TiO2 Films. jame. 2012; 31 (1) :51-56
URL: http://jame.iut.ac.ir/article-1-536-fa.html
علی بهاری ، ماندانا رودباری شهمیری ، نورالدین - میرنیا . مقایسه ویژگی نانو ساختاری اکسید آلومینیوم و اکسید تیتانیوم. مواد پیشرفته در مهندسی. 1391; 31 (1) :51-56

URL: http://jame.iut.ac.ir/article-1-536-fa.html


گروه فیزیک ، دانشکده علوم پایه، دانشگاه مازندران، بابلسر
چکیده:   (1026 مشاهده)
در سال های اخیر، موادی با ثابت دی الکتریک بالا نظیر اکسید آلومینیوم و اکسید تیتانیوم به جای گیت اکسید سیلیکون فرانازک مورد مطالعه قرار گرفته اند. در کار حاضر چنین اکسیدهایی در دماهای مختلف و تحت شرایط فراخلا بر روی زیرلایه ی Si(100) رشد یافته اند. نتایج بدست آمده نشان می دهند که اکسید آلومینیوم از ساختار مناسب تری نسبت به ساختار اکسید تیتانیوم برخوردار است و می تواند به عنوان یک گیت دی الکتریک مناسب در تولیدات آتی نانو ترانزیستورهای میسفت بکار رود.
متن کامل [PDF 275 kb]   (292 دریافت)    
نوع مطالعه: پژوهشي | موضوع مقاله: عمومى
دریافت: ۱۳۹۳/۱۱/۲۰ | پذیرش: ۱۳۹۴/۲/۱۶ | انتشار: ۱۳۹۴/۲/۱۶

ارسال نظر درباره این مقاله : نام کاربری یا پست الکترونیک شما:
کد امنیتی را در کادر بنویسید

ارسال پیام به نویسنده مسئول


کلیه حقوق این وب سایت متعلق به نشریه علمی پژوهشی مواد پیشرفته در مهندسی می باشد.

طراحی و برنامه نویسی : یکتاوب افزار شرق

© 2015 All Rights Reserved | Journal of Advanced Materials in Engineering (Esteghlal)

Designed & Developed by : Yektaweb

تحت نظارت وف بومی آسپا-وف