%0 Journal Article %T مقایسه ویژگی نانو ساختاری اکسید آلومینیوم و اکسید تیتانیوم %J مواد پیشرفته در مهندسی %I دانشگاه صنعتی اصفهان %Z 2251-600X %A علی بهاری, %A ماندانا رودباری شهمیری, %A نورالدین - میرنیا, %D 2022 %\ 12/31/2022 %V 31 %N 1 %P 51-56 %! مقایسه ویژگی نانو ساختاری اکسید آلومینیوم و اکسید تیتانیوم %K فیلم فرا نازک %K نانوساختارها %K گیت دی الکتریک و اکسیدهای فلزی %R %X در سال های اخیر، موادی با ثابت دی الکتریک بالا نظیر اکسید آلومینیوم و اکسید تیتانیوم به جای گیت اکسید سیلیکون فرانازک مورد مطالعه قرار گرفته اند. در کار حاضر چنین اکسیدهایی در دماهای مختلف و تحت شرایط فراخلا بر روی زیرلایه ی Si(100) رشد یافته اند. نتایج بدست آمده نشان می دهند که اکسید آلومینیوم از ساختار مناسب تری نسبت به ساختار اکسید تیتانیوم برخوردار است و می تواند به عنوان یک گیت دی الکتریک مناسب در تولیدات آتی نانو ترانزیستورهای میسفت بکار رود. %U https://jame.iut.ac.ir/article_2263_92d19547a95326543d8b2581b9df124b.pdf