%0 Journal Article %T مطالعه تحولات ساختاری لایه نازک کربن آمورف انباشت شده بر آلیاژ نیکل- مس با تغییر دمای انباشت و انرژی پرتوی یون %J مواد پیشرفته در مهندسی %I دانشگاه صنعتی اصفهان %Z 2251-600X %A محقق پور, الهام %A غلامی پور, رضا %A رجبی, مرجان %A مجتهدزاده لاریجانی, مجید %D 2022 %\ 12/31/2022 %V 40 %N 3 %P 29-42 %! مطالعه تحولات ساختاری لایه نازک کربن آمورف انباشت شده بر آلیاژ نیکل- مس با تغییر دمای انباشت و انرژی پرتوی یون %K لایه نازک %K کربن آمورف %K انرژی پرتوی یون %K دمای انباشت %K تحولات ساختاری %K کربن شبه الماسی %R 10.47176/jame.40.3.04782 %X در تحقیق حاضر لایه نازک کربن آمورف با استفاده از روش کندوپاش پرتوی یونی بر شیشه و آلیاژ نیکل- مس ایجاد و همبستگی تحولات ساختاری کربن آمورف با انرژی جنبشی اتم‌های کربن در مرحله تشکیل پیوند با اتم‌های دیگر بررسی شده است. تأثیر جنس زیرلایه، دمای انباشت و انرژی پرتوی یون بر تحولات ساختاری لایه‌های انباشت شده نیز بررسی شده است. نتایج بررسی طیف‏‌سنجی رامان نشان‌دهنده تحولات ساختاری لایه نازک کربن آمورف به‌سمت کربن شبه الماسی (DLC) با افزایش دمای انباشت تا 100 درجه سانتی‌گراد و انرژی پرتوی یون از دو به پنج کیلوالکترون ولت است. اندازه خوشه‌های گرافیتی با پیوند sp 2 کوچک‌تر از یک نانومتر در لایه‌‏های کربن آمورف انباشت شده بر آلیاژ نیکل- مس است. نتایج محاسبه تنش پسماند با استفاده از دستگاه پراش پرتوی ایکس (XRD) نشان‏‌دهنده روند کاهشی میزان تنش پسماند کششی لایه نازک کربن آمورف با افزایش انرژی پرتوی یون است.  %U https://jame.iut.ac.ir/article_2557_c2d81262022a278a07584b1cb35ba52e.pdf