TY - JOUR ID - 2263 TI - مقایسه ویژگی نانو ساختاری اکسید آلومینیوم و اکسید تیتانیوم JO - مواد پیشرفته در مهندسی JA - JAME LA - fa SN - 2251-600X AU - علی بهاری, AU - ماندانا رودباری شهمیری, AU - نورالدین - میرنیا, AD - گروه فیزیک ، دانشکده علوم پایه، دانشگاه مازندران، بابلسر Y1 - 2022 PY - 2022 VL - 31 IS - 1 SP - 51 EP - 56 KW - فیلم فرا نازک KW - نانوساختارها KW - گیت دی الکتریک و اکسیدهای فلزی DO - N2 - در سال های اخیر، موادی با ثابت دی الکتریک بالا نظیر اکسید آلومینیوم و اکسید تیتانیوم به جای گیت اکسید سیلیکون فرانازک مورد مطالعه قرار گرفته اند. در کار حاضر چنین اکسیدهایی در دماهای مختلف و تحت شرایط فراخلا بر روی زیرلایه ی Si(100) رشد یافته اند. نتایج بدست آمده نشان می دهند که اکسید آلومینیوم از ساختار مناسب تری نسبت به ساختار اکسید تیتانیوم برخوردار است و می تواند به عنوان یک گیت دی الکتریک مناسب در تولیدات آتی نانو ترانزیستورهای میسفت بکار رود. UR - https://jame.iut.ac.ir/article_2263.html L1 - https://jame.iut.ac.ir/article_2263_92d19547a95326543d8b2581b9df124b.pdf ER -