TY - JOUR ID - 2514 TI - نقش عملیات آنیل بر ویژگی‌های فیلم‌های سیلیکونی ایجاد شده به‌روش EB-PVD JO - مواد پیشرفته در مهندسی JA - JAME LA - fa SN - 2251-600X AU - زرچی, میثم AU - آهنگرانی, شاهرخ AD - سازمان پژوهش‌های علمی و صنعتی ایران، پژوهشکده مواد پیشرفته و انرژی‌های نو، تهران، ایران Y1 - 2022 PY - 2022 VL - 39 IS - 1 SP - 99 EP - 103 KW - عملیات حرارتی KW - آمورف سیلیکون KW - EBPVD KW - مورفولوژی سطح KW - نانوبلور DO - 10.47176/jame.39.1.10611 N2 - این پژوهش، به بررسی ویژگی‌های ساختاری و اپتیکی فیلم‌های چنددانه سیلیکون حاصل از اعمال تکنولوژی تبخیر پرتو الکترونی فاز بخار (EB-PVD) روی ویفر سیلیکونی، اختصاص دارد. این فیلم‌ها ابتدا آمورف بوده و طی آنیل به یک فاز جامد بلوری گذار کردند. آنیل در کوره تیوبی تحت اتمسفر گاز خنثی در دماهای مختلف انجام شد. ریزساختار فیلم‌ها برای درک ارتباط بین ترکیب بلوری / آمورف، اندازه دانه و مشخصات فیلم‌ها، مورد بررسی قرار گرفت. نتایج نشان‌دهنده کاهش زبری با افزایش دمای آنیل و افزایش تراکم ساختاری است. همچنین، نتایج حاصل از طیف میکرو رامان نشان‌دهنده تشکیل و افزایش میزان نانوبلور‌های سیلیکون در شرایط آنیل و همچنین با افزایش ضخامت پوشش بر اثر عیوب ساختاری بود. UR - https://jame.iut.ac.ir/article_2514.html L1 - https://jame.iut.ac.ir/article_2514_9d35c45ca3891f5fea7045d2cf154b92.pdf ER -