دانشگاه صنعتی اصفهانمواد پیشرفته در مهندسی2251-600X39120221231Formation and Evaluation of Oxidation Behavior of Zirconia- Aluminide Coating on Nickel- Based Alloyایجاد و ارزیابی رفتار اکسیداسیون پوشش زیرکونیا- آلومیناید بر آلیاژ پایهنیکلی112250710.47176/jame.39.1.3531FAفرهادشهریاری نوگورانیدانشکده مهندسی و علم مواد، دانشگاه صنعتی شیراز، شیراز، ایرانمهدیصفریدانشکده مهندسی و علم مواد، دانشگاه صنعتی شیراز، شیراز، ایرانمهرعلیتقیپوردانشکده مهندسی مکانیک، دانشگاه آزاد اسلامی واحد خمینیشهر، اصفهان، ایرانعلیعاطفیدانشکده مهندسی مکانیک، دانشگاه آزاد اسلامی واحد خمینیشهر، اصفهان، ایرانJournal Article20221231Practical applications of thermal barrier coatings with aluminide bond-coats are limited due to oxide scale spallation of the aluminide coating under applied thermal stresses. Considering the positive effects of oxygen-active elements or their oxides on the high temperature oxidation behavior, in this research zirconia was introduced into an aluminide coating. For this purpose, a Watts type bath was used to electroplate a layer of Ni-ZrO2 composite on a Ni-based substrate. Aluminizing was performed using the conventional two-step process at 760 and 1080 °C. Microstructural characterization of coatings in the as-coated conditions and after cyclic oxidation via 5-hour cycles at 1050 °C was performed using electron microscopy, energy dispersive spectroscopy and X-ray diffractometry. The results showed that the general three-zone microstructure of the simple high activity aluminide coatings develops below the pre-deposited nickel-zirconia layer and latter converts to a nearly un-alloyed porous NiAl. In spite of its porous surface layer, the zirconia modified coating has a higher oxidation resistance than the unmodified aluminide coating.کاربردهای عملی پوششهای سد حرارتی شامل لایه پیوندی آلومیناید، بهدلیل چسبندگی کم پوسته اکسیدی به پوشش آلومیناید تحت تأثیر تنشهای حرارتی، محدود شده است. با توجه به اثرات مثبت عناصر اکسیژندوست یا اکسیدهای آنها بر خواص اکسیداسیون دمای بالا، در پژوهش حاضر زیرکونیا به یک پوشش آلومینایدی افزوده شد. به این منظور، لایهای از کامپوزیت نیکل- زیرکونیا در حمام واتس بر سطح زیرلایه پایه نیکلی بهکمک آبکاری الکتریکی اعمال شد. در ادامه آلومینیومدهی مطابق با روش رایج دومرحلهای در دو دمای 760 و 1080 درجه سانتیگراد انجام شد. مشخصهیابی ریزساختار پوششها بلافاصله پس از پوششدهی و پس از اکسیداسیون چرخهای، هر چرخه پنج ساعت در دمای 1050 درجه سانتیگراد، توسط میکروسکوپ الکترونی روبشی، طیفسنجی توزیع انرژی و پراش پرتو ایکس انجام شد. نتایج نشان داد که ریزساختار سهگانه معمول پوششهای آلومینایدی ساده با اکتیویته بالا، در زیر لایه رسوب الکتریکی نیکل- زیرکونیا اولیه تشکیل شده و این لایه نیز پس از فرایند آلومینیومدهی به فاز متخلخل NiAl تقریباً خالص تبدیل شده است. مقاومت به اکسیداسیون پوشش اصلاح شده با زیرکونیا، با وجود لایه سطحی متخلخل، بهطور قابل ملاحظهای بهبود یافت. https://jame.iut.ac.ir/article_2507_1edc8f719efc7b9b93aafb8898f93c7f.pdfدانشگاه صنعتی اصفهانمواد پیشرفته در مهندسی2251-600X39120221231Structural, Magnetic and Acetone Sensing Properties of Barium- Calcium Hexaferrite Synthesized by Sol- Gel Auto Combustion Methodخواص ساختاری، مغناطیسی و حسگری گاز استون توسط هگزافریت باریم- کلسیم تولید شده بهروش سل- ژل خوداحتراقی1327250810.47176/jame.39.1.7152FAآرزوکریمیاندانشکده معدن و متالورژی، دانشگاه یزد، یزد، ایرانمهدیکلانتردانشکده معدن و متالورژی، دانشگاه یزد، یزد، ایرانJournal Article20221231In this research, barium calcium hexaferrite (Ba1-xCaxFe12O19 , 0≤x£1) nanoparticles were synthesized through a sol-gel combustion method. The dried gel samples were then calcined at 950ºC for 4:30h. The phase and microstructural evolution of calcined samples were investigated by X-ray powder diffraction (XRD) and scanning electron microscopy (SEM), respectively. The results revealed formation of calcium -barium hexaferrite phase with a small amount of hematite as a secondary phase. The average particle size is between 60-100 nm and the particle morphology is hexagonal or plate like structure. Results of a vibrating sample magnetometer (VSM) showed that the sample with x=0.4, exhibited the lowest value of saturation magnetization in comparison with others. This could be due to structural heterogeneity and presence of higher amounts of non- magnetic phases (BaFe2O4 and Fe2O3) in this sample compared to others. The results of sensory testing in acetone gas showed that the barium-calcium hexaferrite sample with x=0.2 had the highest sensitivity (0.28) and shortest response (15s) at a concentration of 900 ppm and a temperature of 200 °C despite of the long recovery time.در این مطالعه، نانوذرات پودر هگزافریت باریم- کلسیم با فرمول Ba<sub>1-x</sub>Ca<sub>x</sub>Fe<sub>12</sub>O<sub>19</sub> <span dir="ltr">(1≥x≥0)</span>بهروش سل- ژل خوداحتراقی تولید شد. پس از کلسینه شدن نمونههای ژل خشک شده بهمدت 4/5 ساعت در دمای 950 درجه سانتیگراد، تغییرات فازی و ریزساختاری آنها بهترتیب بهکمک پراش پرتو ایکس (XRD) و میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM)، ارزیابی شد. بنابر نتایج، تشکیل فاز هگزافریت باریم- کلسیم همراه با مقدار جزئی هماتیت بهعنوان فاز ثانویه تأیید شد. میانگین اندازه ذرات بین 100-60 نانومتر و مورفولوژی ذرات بهصورت هگزاگونال یا پولکیشکل است. نتایج حاصل از آزمون مغناطیسسنج نمونه مرتعش (VSM) نشان داد مقدار مغناطش اشباع در نمونه 0/4=x به پایینترین مقدار خود در مقایسه با سایر نمونهها میرسد. این امر میتواند ناشی از ناهمگنی ساختار و حضور مقدار بیشتری از فازهای غیرمغناطیسی (BaFe<sub>2</sub>O<sub>4</sub> و Fe<sub>2</sub>O<sub>3</sub>) در این نمونه نسبت به سایر نمونهها باشد. نتایج آزمون حسگری در گاز استون نیز نشان داد نمونه هگزافریت باریم- کلسیم (0/2=x)، با وجود زمان بازیابی طولانی، از بالاترین حساسیت (0/28) و کوتاهترین زمان پاسخ (15 ثانیه) در غلظت ppm <span dir="ltr">900</span> و دمای 200 درجه سانتیگراد برخوردار است.https://jame.iut.ac.ir/article_2508_4808835df454cf9c95dc16f3c480674b.pdfدانشگاه صنعتی اصفهانمواد پیشرفته در مهندسی2251-600X39120221231Effect of Plasma Electrolytic Oxidation Process as a Pretreatment on Corrosion Resistance of Polymeric Coatings Applied on Mg Alloyبررسی تأثیر فرایند اکسیداسیون الکترولیتی پلاسمایی بهعنوان آمادهسازی سطح روی مقاومت به خوردگی پوششهای پلیمری اعمالی روی سطح منیزیم2945250910.47176/jame.39.1.21581FAمنصورطورانی فرانیدانشگاه تربیت مدرس، دانشکده فنی و مهندسی، بخش مهندسی مواد، تهران، ایرانJournal Article20221231In this study, Plasma Electrolytic Oxidation (PEO) at three frequencies of 500, 1000 and 3000 Hz was applied on Mg surface and the effect of PEO surface preparation on protective behavior of three types of epoxy, fusion bond epoxy (FBE) and polyurethane coatings was investigated. The microstructural and protective properties of PEO coatings were studied by SEM, potentiodynamic polarization and electrochemical impedance spectroscopy (EIS). The results showed that the coating formed at frequency of 3000 Hz had smaller pore size and better protection properties. EIS test in 3.5 Wt.% NaCl solution was also used to investigate the protective behavior of the two-layered coatings. The results showed that PEO process had a favorable effect on the protective behavior of the polymer layers. Moreover, the best protection behavior was related to the PEO/FBE coating system.در این پژوهش، اکسیداسیون الکترولیتی پلاسمایی (PEO) در سه فرکانس 500، 1000 و 3000 هرتز روی سطح منیزیم، اعمال و سپس تأثیر آمادهسازی سطح بر رفتار حفاظتی سه نوع پوشش پلیمری اپوکسی، اپوکسی پیوند ذوبی (FBE) و پلییورتان بررسی شد. خواص ریزساختاری و حفاظتی پوششهای PEO توسط میکروسکوپ الکترونی روبشی و آزمونهای پلاریزاسیون پتانسیودینامیک و طیفسنجی امپدانس الکتروشیمیایی (EIS) مطالعه شد. نتایج نشان داد که در فرکانس 3000 هرتز پوشش از حفرات ریزتر و رفتار حفاظتی بهتری برخوردار است. برای بررسی رفتار حفاظتی پوششهای دولایه از آزمون EIS در محلول 3/5 درصد NaCl استفاده شد. نتایج بهدست آمده بیانگر تأثیر مطلوب آمادهسازی سطح توسط فرایند PEO روی رفتار حفاظتی لایههای پلیمری بود. همچنین بهترین رفتار حفاظتی مربوط به سیستم PEO/FBE بوده است.https://jame.iut.ac.ir/article_2509_b86b2308dd55480a74ef3e8b80cd0d9b.pdfدانشگاه صنعتی اصفهانمواد پیشرفته در مهندسی2251-600X39120221231Synthesis of the Silicon Inverted Nano- Pyramids and Study of Their Self- Cleaning Behaviorسنتز نانوهرمهای وارونه سیلیکونی و مطالعه رفتار خود تمیزشوندگی آنها4759251010.47176/jame.39.1.21201FAفرنازمنصوریآزمایشگاه (RF MEMS and Bio-Nano Electronics (MBNE، بخش مهندسی برق، دانشگاه شهید باهنر کرمان، کرمان، ایرانمهدیهمهرانآزمایشگاه (RF MEMS and Bio-Nano Electronics (MBNE، بخش مهندسی برق، دانشگاه شهید باهنر کرمان، کرمان، ایرانJournal Article20221231In this paper, synthesis of inverted nano-pyramids on a single crystal silicon surface through a simple and cost-effective wet chemical method is surveyed. These structures were synthesized by MACE process using Cu as the assisted metal in the solution of copper nitrate, hydrogen peroxide and hydrofluoric acid for different etching times. FE-SEM images of the samples show that time is an important factor in the formation of silicon inverted nano-pyramids and by extending synthesis time the structures gradually fade. After synthesis, some samples were etched in KOH 2% and IPA 6% for one minute which resulted in formation of nano-pyramids besides inverted nano-pyramids on the silicon surface. Formation of these combinational structures affected the self-cleaning behavior of the silicon surface. X-ray diffraction (XRD) was utilized for studying the crystalline characteristics of the synthesized structures. Moreover, the self-cleaning behavior of them was studied using the contact angle goniometer. The results showed that the inverted nano-pyramids improve the hydrophilic behavior of the silicon surface while post-synthesized etching improves the hydrophobic behavior of the surface. These textures improve the performance of solar cells due to their self-cleaning and light adsorption propertiesدر این پژوهش، سنتز نانوهرمهای وارونه روی بستر سیلیکونی تکبلوری بررسی شد. این ساختارها طی فرایند MACE و با استفاده از فلز مس در محلول نیترات مس، هیدروژن پراکساید و هیدروفلوئوریک اسید در زمانهای زدایش مختلف تهیه شدند. نتایج بهدست آمده از تصاویر میکروسکوپی الکترونی روبشی گسیل میدانی نشان دادند که زمان، فاکتور مهمی در شکلگیری نانوساختارهای هرم وارونه بوده و با افزایش زمان سنتز، ساختارها بهمرور از بین میرود. پس از سنتز، برخی از نمونهها بهمدت یک دقیقه در محلول پتاسیم هیدروکسید دو درصد و شش درصد ایزوپروپیل الکل شدند که سبب شکلگیری هرمهای نانومتری در کنار نانوهرمهای وارونه روی سطح سیلیکون شد. رفتار خود تمیزشوندگی سطح سیلیکون تحت تأثیر این ساختارهای ترکیبی قرار گرفت. برای بررسی مشخصههای بلوری ساختارهای سنتز شده از الگوی پراش پرتو ایکس (XRD) استفاده شد. بهعلاوه رفتار خود تمیزشوندگی نمونهها مطالعه شد. نتایج نشان داد که نانوهرمهای وارونه رفتار آبدوستی سطح سیلیکونی را تقویت میکنند درحالی که پسزدایش، رفتار آبگریزی سطح را بهبود میدهد. این ساختارها با توجه به داشتن خاصیت جذب نور و رفتار خود تمیزشوندگی مناسب، میتوانند در بهبود عملکرد سلولهای خورشیدی مورد استفاده قرار گیرند.https://jame.iut.ac.ir/article_2510_cb17b0282bfb2429a8deeccdaa88b5a8.pdfدانشگاه صنعتی اصفهانمواد پیشرفته در مهندسی2251-600X39120221231Fabrication of Nerve Guide Conduit Based on 3D Graphene/ Polymer for Nerve Tissue Engineeringساخت کانال هدایت عصبی بر پایه گرافن سهبعدی/پلیمر برای کاربرد در مهندسی بافت عصب6173251110.47176/jame.39.1.20571FAندابهرمندی طلوعدانشکده مهندسی مواد، دانشگاه صنعتی اصفهان، اصفهان، ایرانحمیدرضاسلیمی جزیدانشکده مهندسی مواد، دانشگاه صنعتی اصفهان، اصفهان، ایرانمهشیدخرازیهادانشکده مهندسی مواد، دانشگاه صنعتی اصفهان، اصفهان، ایراننیکلالیسیENEA، آژانس ملی انرژی ایتالیا، رم، ایتالیاجولیانافاگیودپارتمان مهندسی اطلاعات، فراساختارها و انرژیهای نو، رگیو کالابریا، ایتالیاالسیوتامبورانودانشکده مهندسی برق و انرژی، دانشگاه ساپینزا، رم، ایتالیاJournal Article20221231In recent years, graphene has been considered in various tissue engineering applications such as nerve guide conduits because of its unique properties such as high electrical and mechanical properties, porous structure for exchange of nutritious and waste materials, biocompatible, capability of drug and growth factor delivery. In the current study, nerve guide conduits based on a 3D graphene were synthesized by induction heating chemical vapor deposition (ICVD). Graphene was synthesized on Ni foam template at 1080 ͦC. Fabricated samples were characterized by Raman analysis and Scanning Electron Microscopy. Raman analysis showed that the synthesized graphene is in the form of a turbostratic multilayered graphene with little defects. Cyclododecane (CD) as a temporary protective layer was used to remove nickel. After removing nickel, the free-standing 3D-graphene structure was coated with a polymer (PCL) by drop and dip coating methods to obtain the composite conduit. A comparison of the electromechanical results of the 3D-graphene/PCL conduit and PCL conduit indicated that firstly, grapheme increased the electrical conductivity of the composite conduit which will help promote nerve regeneration and axon growth. Secondly, tensile strength and flexibility of the 3D-graphene/PCL conduit was improved compared to the PCL conduit.در سالهای اخیر گرافن بهدلیل خواص منحصر بهفردی چون هدایت الکتریکی بسیار بالا، استحکام مکانیکی بالا، ساختار متخلخل برای تبادل مواد مغذی و مواد زائد، زیستسازگاری، امکان بارگذاری دارو، متغیرهای رشد و ... در مهندسی بافتهای مختلف از جمله در ساخت کانال هدایت عصبی مورد توجه قرار گرفته است. در این پژوهش، ساخت کانال هدایت عصبی بر پایه گرافن سهبعدی بهروش رسوب شیمیایی بخار با گرمایش القایی (ICVD) دنبال شد. گرافن در دمای 1080 درجه سانتیگراد روی فوم نیکلی سنتز و نمونهها با استفاده از آنالیز رامان و میکروسکوپ الکترونی روبشی مشخضهیابی شدند. آنالیز رامان نمونهها نشان داد که گرافن سنتز شده بهصورت گرافن چندلایه توربواستراتیک با عیبهای بسیار کم است. بهمنظور حذف نیکل از سایکلودودکان بهعنوان لایه محافظ استفاده شد. بعد از حذف نیکل، گرافن سهبعدی بهدست آمده با استفاده از روش قطرهای و غوطهوری در محلول پلیمری پلیکاپرولاکتون پوشش داده و کانال هدایت عصبی بهصورت کامپوزیتی از گرافن سهبعدی در هسته و پوشش پلیمری پلیکاپرولاکتون ساخته شد. مقایسه خواص الکترومکانیکی کانال هدایت کامپوزیتی با کانال پلیمری پلیکاپرولاکتون نشان داد که ابتدا حضور گرافن سهبعدی باعث افزایش هدایت الکتریکی کانال هدایت کامپوزیتی شده و انتظار میرود که این امر بهبود فرایند ترمیم عصب و رشد آکسونها را بهدنبال داشته باشد. سپس استحکام مکانیکی و انعطافپذیری آن در مقایسه با کانال هدایت پلیکاپرولاکتون افزایش یافته است.https://jame.iut.ac.ir/article_2511_1f2972e686336debfa5070688b299f06.pdfدانشگاه صنعتی اصفهانمواد پیشرفته در مهندسی2251-600X39120221231Oxidation Kinetics of Magnesium Powder Particles in Non-Isothermal Conditionسینتیک اکسیداسیون ذرات پودری منیزیم در شرایط غیرهمدما7587251210.47176/jame.39.1.21061FAمحمدسلطانیدانشکده مهندسی معدن و متالورژی، دانشگاه یزد، یزد، ایرانامیرسیف الدینیدانشکده مهندسی معدن و متالورژی، دانشگاه یزد، یزد، ایرانسعیدحسنیدانشکده مهندسی معدن و متالورژی، دانشگاه یزد، یزد، ایرانJournal Article20221231In this research, the effect of heating rate on oxidation kinetics of magnesium powder particles under non-isothermal conditions was studied. For this purpose, differential thermal analysis (DTA) and thermogravimetry analysis (TGA) was done on magnesium powder particles at three heating rates of 5, 10 and 20 K min-1 up to 1000 °C under air atmosphere. Also, in order to better understand the oxidation process of magnesium powder, three temperatures were selected according to the DTA curve at a heating rate of 20 K min-1. Then, samples of magnesium powder were heated up to these three temperatures with heating rate of 20 K min-1 and were subjected to X-ray diffraction (XRD) and scanning electron microscopy (SEM) for phase and microstructural analysis. Then, kinetic studies were performed using some isoconversional methods such as Starink and Friedman as well as direct and indirect fitting methods. The activation energy (E) and pre-exponential factor (lnA) for oxidation of magnesium powder were in the range of 327-956 kJ mol-1 and 45-135 min-1, respectively. The reaction models for heating rates of 5, 10 and 20 K min-1 were obtained to be A3/2, R2 and D1, respectively.در این پژوهش، تأثیر نرخ حرارتدهی بر سینتیک فرایند اکسیداسیون ذرات پودری منیزیم در شرایط غیرهمدما مورد مطالعه قرار گرفت. به این منظور، آزمون گرماسنجی افتراقی (DTA) و آزمون وزنسنجی حرارتی (TGA) در سه نرخ حرارتدهی 5، 10 و 20 کلوین بر دقیقه تا دمای 1000 درجه سانتیگراد تحت اتمسفر هوا، روی ذرات پودری منیزیم انجام شد. همچنین برای درک بهتر فرایند اکسیداسیون پودر منیزیم، با توجه به منحنی DTA اکسیداسیون پودر منیزیم در سرعت حرارتدهی 20 کلوین بر دقیقه، سه دمای مشخصه انتخاب شد. سپس نمونههایی از پودر منیزیم تا این سه دما با نرخ 20 کلوین بر دقیقه حرارتدهی شدند و برای بررسیهای فازشناسی و ریزساختاری بهترتیب تحت آزمونهای پراش پرتو ایکس (XRD) و دستگاه میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) قرار گرفتند. سپس با استفاده از روشهای همتبدیلی استارینک و فریدمن و همچنین روشهای انطباقی مستقیم و غیرمستقیم بررسیهای سینتیکی انجام شد. انرژی فعالسازی (E) و ضریب پیشنمایی (lnA) بهدست آمده برای فرایند اکسیداسیون پودر منیزیم بهترتیب در محدوده 956-327 کیلوژول بر مول و 135-45 بر دقیقه قرار داشت. مدل واکنش برای نرخهای حرارتدهی 5، 10 و 20 کلوین بر دقیقه، بهترتیب R2 ،A3/2 و D1 تعیین شد.https://jame.iut.ac.ir/article_2512_871c2d2e3fb77a73d127436749be8a40.pdfدانشگاه صنعتی اصفهانمواد پیشرفته در مهندسی2251-600X39120221231Effect of Different Concentrations of Rosemary Extract on the Phase and Morphology of Zno Nanoparticles and Its Efficiency on Degradation of Methylene Blue Dyeاثر غلظتهای مختلف عصاره رزماری بر فاز و ریخت نانوذرات اکسید روی و کارایی آن در تخریب رنگ متیلنبلو8998251310.47176/jame.39.1.19731FAفاطمهداوردانشکده شیمی، دانشگاه صنعتی اصفهان، اصفهان، ایرانزهراانتشاریدانشکده شیمی، دانشگاه صنعتی اصفهان، اصفهان، ایرانJournal Article20221231In this research, Zinc oxide nanoparticles with semi-spherical morphology were synthesized by modified sol-gel method using rosemary extract as a stabilizing agent. The effect of the amount of rosemary extract and calcination temperature on size and shape of the particles was investigated. The samples were characterized by X-ray diffraction (XRD), infrared spectroscopy (FT-IR), scanning electron microscopy (SEM) and elemental analysis (EDX). X-ray diffraction results showed hexagonal structure (wurtzite phase) of zinc oxide. According to the SEM results semi-spherical nanoparticles of 18 nm in size were obtained using 75 ml of rosemary extract. The photocatalytic activity of the modified ZnO nanoparticles was investigated for degradation of the methylene blue dye solution. The results showed 96.87% of dye degradation in the 135 min that confirmed suitable efficiency of as-synthesized nanoparticles in the photocatalytic degradation process of dyes.در این پژوهش، نانوذرات اکسید روی با مورفولوژی شبه کروی بهروش سل- ژل اصلاح شده و با استفاده از عصاره رزماری بهعنوان عامل پایدار کننده نانوذرات سنتز شد. اثر میزان عصاره رزماری و دمای کلیسنه شدن بر اندازه و شکل ذرات مورد بررسی قرار گرفت. نمونهها با الگوی پراش پرتو ایکس (XRD)، طیفسنجی مادون قرمز (FT– IR)، میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) و آنالیز عنصری تفکیک انرژی پرتو ایکس (EDX) شناسایی شدهاند. نتایج پراش پرتو ایکس ساختار هگزاگونال (فاز ورتزیت اکسید روی) را نشان داد. بنابر نتایج میکروسکوپ الکترونی روبشی نانوذرات کروی اکسید روی با اندازه تقریبی 18 نانومتر با استفاده از 75 میلیلیتر عصاره رزماری بهدست آمد. فعالیت فوتوکاتالیتیکی نانوذرات اکسید روی بهینه سنتز شده برای تخریب محلول رنگی متیلنبلو مورد بررسی قرار گرفت. نتایج بیانگر 96/87 درصد تخریب رنگدانه طی ۱۳۵ دقیقه بود که نشاندهنده کارایی مناسب نانوذرات سنتز شده در فرایند تخریب فوتوکاتالیتیکی رنگدانهها بودند.https://jame.iut.ac.ir/article_2513_8dbd0480e29e25606ec9466c190c7935.pdfدانشگاه صنعتی اصفهانمواد پیشرفته در مهندسی2251-600X39120221231The Role of Annealing on Properties of Silicon Films Deposited By EB-PVDنقش عملیات آنیل بر ویژگیهای فیلمهای سیلیکونی ایجاد شده بهروش EB-PVD99103251410.47176/jame.39.1.10611FAمیثمزرچیسازمان پژوهشهای علمی و صنعتی ایران، پژوهشکده مواد پیشرفته و انرژیهای نو، تهران، ایرانشاهرخآهنگرانیسازمان پژوهشهای علمی و صنعتی ایران، پژوهشکده مواد پیشرفته و انرژیهای نو، تهران، ایرانJournal Article20221231The structural and optical properties of polycrystalline silicon films obtained on a silicon wafer by electron beam physical vapor deposition (EBPVD), were studied in this paper. These films were initially amorphous and changed to a crystalline solid phase during annealing. Annealing was performed in an inert gas atmosphere tube furnace at different temperatures. Micro-structure of the films was analyzed to know the relationship between the crystalline / amorphous composition, grain size and characteristics of the films. The results showed a decrease in roughness with increasing annealing temperature and structural density. Moreover, results of Micro-Raman spectrum showed formation and increase of silicon nanocrystals in the annealed condition when the thickness of the coating increased due to structural defects.این پژوهش، به بررسی ویژگیهای ساختاری و اپتیکی فیلمهای چنددانه سیلیکون حاصل از اعمال تکنولوژی تبخیر پرتو الکترونی فاز بخار (EB-PVD) روی ویفر سیلیکونی، اختصاص دارد. این فیلمها ابتدا آمورف بوده و طی آنیل به یک فاز جامد بلوری گذار کردند. آنیل در کوره تیوبی تحت اتمسفر گاز خنثی در دماهای مختلف انجام شد. ریزساختار فیلمها برای درک ارتباط بین ترکیب بلوری / آمورف، اندازه دانه و مشخصات فیلمها، مورد بررسی قرار گرفت. نتایج نشاندهنده کاهش زبری با افزایش دمای آنیل و افزایش تراکم ساختاری است. همچنین، نتایج حاصل از طیف میکرو رامان نشاندهنده تشکیل و افزایش میزان نانوبلورهای سیلیکون در شرایط آنیل و همچنین با افزایش ضخامت پوشش بر اثر عیوب ساختاری بود.https://jame.iut.ac.ir/article_2514_9d35c45ca3891f5fea7045d2cf154b92.pdf