دوره 33، شماره 2 - ( نشریه مواد پیشرفته در مهندسی- پاییز 1393 )                   جلد 33 شماره 2 صفحات 65-74 | برگشت به فهرست نسخه ها

XML English Abstract Print


Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:

Sh. Seyyedin, S. M. Hosseini-Golgoo, M. H. Ghezel ayagh, F. Agend. Investigation of Sensory Properties of Nanostructure Tin Oxide Layers Deposited by Thermal Evaporation and Sputtering Methods Compared to Ethanol. jame. 2015; 33 (2) :65-74
URL: http://jame.iut.ac.ir/article-1-580-fa.html
شهرام سیدین ، سیدمحسن حسینی گلگو ، محمد حسین قزل‌ایاغ ، فریما آگند . بررسی خواص حسگری لایه‌های اکسید قلع نانوساختار لایه‌نشانی شده به روش‌های تبخیر گرمایی و کَند و پاش نسبت به اتانول. مواد پیشرفته در مهندسی. 1393; 33 (2) :65-74

URL: http://jame.iut.ac.ir/article-1-580-fa.html


چکیده:   (4882 مشاهده)
در این مقاله، نحوه ساخت و ارزیابی حسگرهای گاز مبتنی بر لایه‌ نازک اکسید قلع نانوساختار به دو روش تبخیر گرمایی (نوع I) و کَند و پاش (نوع II) نسبت به اتانول بررسی شده است. لایه‌ نازک اکسید قلع برروی زیرلایه‌هایی از ویفر سیلیکن ایجاد و برروی آن‌ها عملیات حرارتی انجام شد. با استفاده از روش‌های ساختارسنجی و تحلیل مختلف SEM)، AFM، XRD و (EDS ریزساختار بدنه‌های نیمه‌هادی مورد ارزیابی قرار گرفت. تصاویر SEM، وجود دانه‌بندی یکنواخت با ابعاد نانومتری در هر دو نوع نمونه را نشان داد. مقاومت حسگرها در هوای تمیز و تغییرات گذرای مقاومت آن‌ها در پاسخ به تغییرات آنی بخار اتانول ppm)3000) مورد اندازه‌گیری قرار گرفت. پس از پایداری حسگرها، پاسخ 3 برای حسگر نوع I و 18/1 برای حسگر نوع II به‌دست آمد که بیانگر خواص حسگری بهتر لایه‌ نازک اکسید قلع نانوساختار ایجاد شده به روش تبخیر گرمایی بود. دلیل آن‌را می‌توان ناشی از سطح مؤثر، مکان‌های جذب و مقاومت بیس‌لاین بیش‌تر به واسطه داشتن دانه‌های ریزتر دانست هرچند به لحاظ زمان پاسخ و بازیابی، عملکرد کندتری داشت.
متن کامل [PDF 54750 kb]   (1756 دریافت)    
نوع مطالعه: پژوهشي | موضوع مقاله: عمومى
دریافت: ۱۳۹۳/۱۲/۶ | پذیرش: ۱۳۹۳/۱۲/۶ | انتشار: ۱۳۹۳/۱۲/۶

ارسال نظر درباره این مقاله : نام کاربری یا پست الکترونیک شما:
CAPTCHA

ارسال پیام به نویسنده مسئول


کلیه حقوق این وب سایت متعلق به نشریه علمی پژوهشی مواد پیشرفته در مهندسی می باشد.

طراحی و برنامه نویسی : یکتاوب افزار شرق

© 2019 All Rights Reserved | Journal of Advanced Materials in Engineering (Esteghlal)

Designed & Developed by : Yektaweb