دوره 22، شماره 1 - ( 4-1382 )                   جلد 22 شماره 1 صفحات 174-167 | برگشت به فهرست نسخه ها

XML English Abstract Print


چکیده:   (4448 مشاهده)
بررسی تقاضاهای تکنولوژی GSI و ULSI حاکی از نیاز ساختارهای چند لایه به کاهش زمان تأخیر انتقال علائم بین سیستمهای نیمه هادی است. این کاهش با استفاده از یک فلز هادی خوب مانند مس و یک غیر هادی کم ظرفیت تر از آنچه هم اکنون استفاده می‌شود مانند سیکلوتن ممکن است.در این مقاله نتایج حاصل از چسبندگی پوشش تبخیری و پراکنشی مس روی سیکلوتن 3022 بررسی می‌شود. پس از ارائه واکنشهای فصل مشترک فلز و پلیمر که رابطه مستقیم با چسبندگی دارد روشهای بهبود چسبندگی منجمله تغییر سطح پلیمر توسط پلاسمای نیتروژن ارائه می‌شود. واژگان کلیدی: فلزینه کاری، سیکلوتن، چسبندگی، پلاسما، چند لایه
متن کامل [PDF 201 kb]   (898 دریافت)    
نوع مطالعه: پژوهشي | موضوع مقاله: عمومى
دریافت: 1393/8/3 | انتشار: 1382/4/24

بازنشر اطلاعات
Creative Commons License این مقاله تحت شرایط Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License قابل بازنشر است.